ビームスキャニング

ビームスキャニングは、電子顕微鏡やレーザー光学機器で用いられる技術で、光や電子ビームを高速にサンプル上を走査し、画像やデータを取得する手法です。従来の点描方式と比べてスキャン速度が大幅に向上し、リアルタイムでの観察や高解像度の画像取得が可能となります。研究や産業における微細構造解析、半導体検査、医療診断など幅広い分野で不可欠な技術とされています。